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本文標題："液相冷凝基本特征制備不同成分分析顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2016-9-11 23:05:17 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
液相冷凝基本特征制備不同成分分析顯微鏡
與晶態材料相比，非晶態材料的基本特征是其構成原子在很大程度
上的混亂排布，體系的自由能比對應的晶態要高，處于熱力學上的
亞穩態。因此，獲得非晶態材料必須解決下述兩個關鍵問題：①形
成原子的混亂排布。②將這種熱力學上的亞穩態在一定的溫度范圍
內保存下來，使之不發生向晶態的轉變。基于以上兩點，人們開發
出很多非晶態材料的制備方法，最常見的是液相冷凝法、氣相沉積
法和機械研磨法等。
液相冷凝法
首先將原材料加熱熔融成液態，然后通過不同的途徑使熔體冷
卻凝固，最后致使熔體的無序結構得以保留至固態而形成非晶態材
料。
氣相沉積法
先采用各種工藝將晶態材料的原子或分子離解出來，然后促使
它們無規則地沉積到低溫冷卻底板上，從而形成非晶態。由于受到
導熱的限制，一般只能制備出非晶態的薄膜材料，厚度從幾十納米
到微米量級。近年來發展的高速濺射能夠制備出幾個毫米的塊狀非
晶材料。根據離解和沉積的方式不同，分為濺射、真空蒸發、輝光
放電、化學氣相沉積等，各適用于制備不同成分和不同類型的非晶
態材料。
濺射法
濺射法是在位于低壓氣氛中的兩個電極加上電壓，將氣體電離
，離子沖擊靶材表面，使其釋放去原子，這些原子在冷卻板上無規
則地沉積形成非晶態材料。一般將樣品制成多晶或研成粉末，壓縮
成型，進行預燒以作為濺射用靶，抽真空后充入一定壓力的氬氣即
可進行濺射。采用這種方法可以制備出大部分含稀土元素的非晶態
合金，也可以用來制備非晶態的硅和鍺。因為采用氬離子轟擊，樣
品中一般含有少量的氬，其他雜質含量較少。通常非晶態薄膜的厚
度約為幾十個微米。
真空蒸發沉積
和濺射法相近，同為傳統的薄膜工藝。蒸發時，在真空中將預先
配制好的材料加熱，并使從表面蒸發出來的原子沉積在襯底上。原
材料的加熱可以采用電阻加熱、高頻加熱或電子束轟擊等方法。
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