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顯微鏡高質量和測量精準的條件是機械裝置與傳感器的對準
表示僅利用透鏡中心部分產生準直光束的待測透鏡(LUT)。對
于注塑模壓成型光學元件,一般地,透鏡中心部分質量非常高.在多
數情況下,透鏡通光孔徑較外面部分具有較大像差,主要是由工藝
參數、脫模等因素所致。
若利用圖所示結構測量模壓光學系統,就會恰好沒有探測透鏡較外面
的乖要部分,所以,更可取的方法是設計一個具有較高數值孔徑的照明
系統,
保證盡可能多的光透過待測透鏡表面。出射波前稍有發散,但利用輔助
光學系統可以得到準直。利用該方法可以測量透鏡的大部分,
包括通光孔徑較外面的重要部分。
在某種程度上,這種方法非常類似于干涉儀中利用補償光學系統測量光學元
件。標定仍然是重要問題,為了獲得可靠的測量結果,需要使用智能標定方法。
完成高質量和可靠測量的必要條件是機械裝置與傳感器的對準。除軟件類似
于干涉儀,能夠減除波前傾斜和光焦度外.該裝置應包含一些標定和對準器件
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