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本文標(biāo)題:"平行于電子束是取得高分辨影像的重要因素"

新聞來(lái)源:未知 發(fā)布時(shí)間:2013-4-15 21:35:52 本站主頁(yè)地址:http://www.pzfczx.com

藉由傾斜試片使某特定晶面的軸向(pole)平行于電子束是取得高分辨原子影像的重要條件。
試片區(qū)的真空要求度較低,約在10-5 torr,試片區(qū)較低的真空要求度可節(jié)省每次更換試片所要花費(fèi)的時(shí)間。
通常在電子光束跟試片室之間會(huì)有一真空閥門(mén)來(lái)隔開(kāi)兩真空度有差異的區(qū)域,要進(jìn)行觀測(cè)時(shí)才會(huì)打開(kāi),
以防電子光束壽命減短。電磁透鏡系統(tǒng)是由物鏡(objective lens),中間鏡(intermediate lens),
以及投影鏡(projective lens)等三種所構(gòu)成。

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