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本文標題："掃描電子顯微鏡應用于極細微元件測量"
新聞來源：未知 發布時間：2013-4-15 21:44:31 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
掃描探針顯微技術(Scanning Probe Microscope，SPM)在結合奈米制造技術后所研發出奈米量測技術
最新的成果。因為奈米元件在制造過程中(奈米制造技術)以及各種 相關技術的發展上都會需要量測做支援，所以觀測奈米元件的技術
(奈米量測技術)對整個奈米技術的發展是不可或缺的。以這種觀點為出發點，
期待掃描探針顯微技術(SPM)可以發展成將奈米量測技術、奈米制造技術以及探索奈米級物質特性技術
這三種技術加以融 合重整為一多功能整合性技術。
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