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微細加工
鉆石刀具為硬度最高之物質,對非鐵金屬及非金屬工件材料之高速切削非常適合,其可達成無毛
邊及鏡面加工之能力,鉆石可能切削的材料有限,
如鋁、銅合金、鉛、金等具有展性之軟金屬,鍺(Ge)等半導體單晶等,而鋼、鐵等材料因與鉆石有化學
親合性,無法用鉆石切削,故本實驗采用鉆石刀具來切削,如此可獲得更好的品質要求。微細加工每
次加工進給深度約為 15μm. 。
則為加工中情形是利用 CCD 來校刀及觀看微細加工。
是加工完成后的工件,是利用光學檢測設備放大 100 倍來觀看 V- CUT
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