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本文標題："MEMS陀螺儀測量單軸或多軸旋轉的角速度"
新聞來源：未知 發布時間：2018-7-15 0:46:59 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
MEMS陀螺儀測量單軸或多軸旋轉的角速度
加速度計
有五種形式的運動傳感：加速度、振動(周期性加速度)、沖擊(瞬間加
速度)、傾斜(靜態加速度)和旋轉。除了旋轉，這些運動形式都可以用加速
度計進行測量。因此，加速度計得到了廣泛的應用，從設備跌落過程中觸發
硬盤保護系統，到游戲中的手勢識別等。MEMS加速度計通常可以是電容型或
壓阻型的。電容型加速度計由粘貼在基底上的固定金屬板和粘貼在框架上的
可移動金屬板組成。加速度帶來的框架位移，導致差分電容的變化，從而被
板上電路測量得到。電容型加速度計具有較高的靈敏度，應用于低幅度、低
頻率器件中。壓阻型加速度計包含一個電阻材料，它與懸臂梁結合在一起，
懸臂梁將隨著加速度的出現而發生彎曲，從而使電阻材料發生變形，產生一
個與加速度大小相關的電阻變化。壓阻型加速度計‘更加堅固耐用，可應用
于需要更高幅度和頻率響應的場合
陀螺儀
MEMS陀螺儀測量單軸或多軸旋轉的角速度，。陀螺儀可以準
確地測量自由空間中的復雜運動。它們不采用需要軸承的旋轉部件，因此更
易于采用半導體加工工藝對其進行小型化和批量生產。幾乎所有的MEMS陀螺
儀都利用振動機械元件(檢測質量)來感知旋轉，通過感知由科里奧利(Corio
lis)加速度引起的同z一結構的兩種不同振動模式之間的能量轉移來實現。
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