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本文標題："光學制造條紋不能稱為光學要素分析儀器"
新聞來源：未知 發布時間：2018-5-21 22:01:56 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
光學制造條紋不能稱為光學要素分析儀器
干涉儀
在眾多類型的干涉儀中．斐索干涉儀已成為光學制造領域典型
的干涉儀。在過去的幾十年中，商業測量儀器取得了巨大的進步，
包括相位測量儀器、球面參考測量、條紋計數距離測量、數字成像
測量以及測量分析軟件。角度和長度測量可以進行特定儀器的集成
，比如拼接測量算法拓寬了數值孔徑、尺寸和非球面偏離量的限
制。
事實上．測量的基礎并沒有改變，但通常會被誤解：每個光學
技師都認為“一個條紋為半個波長”，這種說法既不能稱作對．也
不能稱作錯，只是不全面。當被測表面的面形發生了半個波長的變
化．測試波前傳播的物理距離包括入射和出射。那么在干涉平面上
的累積光程差就為一個波長．其表現為一個干涉條紋變化。因此，
當使用商業干涉儀測量時，必須使用正確的比例因子。
一個條紋間距總是代表干涉平面的一個波長的光程差。
條紋不能稱為光學要素(組分)．它只是兩束波前經過不同光程
的干涉現象。
這一點主要是為了說明．并不是每個測試裝置垂直入射時在返
回干涉平面之前都會兩次經過被測面(或折射波前)。因此，我們必
須對光學路徑進行追蹤．計算在每個相遇點的光程差，然后計算出
光程差對應的條紋數。
雖然峰谷值(PV)的測量和這一測量參數仍然是最常見和最好理
解的，但是它們并不能與光學性能很好地聯系起來，主要是其沒考
慮到傾斜誤差或者整個被影響區域。
干涉裝置
下面是利用斐索干涉儀的常見測量裝置的范例，其中彩色部分
是被測項，其左側是斐索干涉儀的透射參考表面。
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