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本文標題："表面微觀形貌超精密制造技術的發展和制造"
新聞來源：未知 發布時間：2016-12-7 16:39:27 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
表面微觀形貌超精密制造技術的發展和制造
目前，納米機械加工的表面精度已經達到納米量級，對零件表面質
量的測量與評價顯得尤其重要。不同的超精密加工方法所獲得的表面幾
何質量分布是不同的，同一光滑表面使用不同測量儀器所得到的結果也
是不同的，零件的使用與其表面幾何質量也同樣有極大的相干性，而不
同的評價方法和表征參數也對表面質量的評定結果有一定的影響。
隨著超精密制造技術的發展和制造方法的多樣性，超精密納米機械
加工表面測量與評價技術將成為制造業的研究熱點，由于AFM儀器具有
的三維納米表面特征測量的優異性能，是最適用于測量超光滑納米加工
表面微觀形貌的儀器，
對測量結果和對表面形貌的描述也最為精確。但是，目前尚沒有納
米級表面測量的國際標準及其相關的取樣長度、評定長度的定義，為此
，未來技術發展中必須建立納米機械加工的表面測量標準，以便適應納
米表面檢測的新需求，并在AFM測量軟件中進行標準的更新和定義。
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