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通過光學精密研磨來獲得較好的表面粗糙度
第一,高反射率光學材料。制造高反射率轉折鏡和反射鏡的材
料有銅、鉬、硅、鍺等。金、銀、銅等金屬對C02激光有較高的反
射率和熱導率,能滿足轉折鏡與反射鏡對反射紅外光的要求;導熱
好可將表面吸收激光所產生的熱量散出去,避免因光學元件過熱而
使其破壞閾值提高。
銅的硬度低,不易通過光學精密研磨來獲得較好的表面粗糙度
。一般將銅鏡粗磨并鍍鎳、鉻,再進行精密拋光,經鍍金或紅外介
質膜制成反射鏡。鍍金是為了提高銅鏡的反射率和抗腐蝕與抗氧化
能力。紅外介質膜既能增加反射率,又可保護鍍金表面,遇到鏡面
污染時,能進行清潔處理,從而提高其使用壽命。
鉬的硬度較高,可經光學精密研磨制成反射鏡。其熔點很高,
激光加工中的噴濺物不易粘附于表面,還可擦拭清洗表面污汛,在
那些溫度高、易污染的加工部位可以選用鉬反射鏡。
硅的熱膨脹系數小,硬度很高,熱導率較大。經光學研磨鍍銀
或介質保護膜,能提高其反射率,可用作反射鏡,但該材料的抗激
光破壞閾值低,使用功率會受到限制。
鍺對紅外光的反射率很低,全靠鍍膜來提高其反射率。通過鍍
膜后可以反射99%以上的紅外光,剩下約1%的激光則透過基體,
由光—電元件吸收后用于監測或反饋控制激光器功率。
砷化鎵材料的吸收系數小,作為基底材料抗激光破壞閾值大于
150kW/cm2。對紅外光的反射率很低,通過鍍高反射率膜使其對激
光的反射率達99.5%以上?捎米鞔蠊β始す馄鞯姆瓷溏R。
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