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本文標題："蒸發和刻蝕制造工藝機械強度樣品加工材料顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2016-8-31 12:24:23 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
蒸發和刻蝕制造工藝機械強度樣品加工材料顯微鏡
場發射性能
場發射是指電子自固體表面逃逸到真空的量子力學隧穿現象。在外
加電場作用下，固體的表面勢壘被壓低減薄，使電子有一定幾率穿透這
一勢壘至真空。從固體中發射電子分為熱電子發射、光電子發射和次級
電子發射三類，這些均需要給電子提供大于逸出功的額外能量才能發生
。場電子發射的特點是無需給電子提供額外能量就能發射出來。典型的
場發射應用實例是冷陰極，冷陰極具有電子能量分布窄、耗能低、穩定
性高等特點，被廣泛用于顯示器電子槍、掃描電鏡電子槍、微波功率放
大器等領域。作為理想的場發射體材料應滿足以下幾個要求：①發射體
材料易于發射電子；②發射體材料是高熔點材料，因為發射體工作時通
過的電流密度很大，容易使局部溫度過高；③發射體材料化學穩定性好
，因為發射體工作時局部溫度較高，易與器件內殘余氣體反應，為了保
證發射體正常工作，必須要求選用化學穩定性好的高熔點材料；④發射
體材料具有一定的耐離子轟擊能力，因為發射體工作時器件內殘余氣體
電離產生正離子，并與發射體陰極轟擊碰撞，降低發射體使用壽命。
目前，場發射體材料的制造工藝通常以蒸發和刻蝕等為主。根據使
用條件不同，將其制作成單個發射體或發射體陣列，并使其端部具有微
尖結構。碳納米管等一維納米材料本身就具備場發射應用所需的尺寸要
求，綜合考慮熱導率、化學穩定性及機械強度等因素，碳納米管等一維
納米材料有望部分或全部取代目前的硅材料成為新一代場發射材料。
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