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本文標(biāo)題："掃描探針顯微鏡測量速度低橫向分辨率則高"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2016-7-3 16:49:25 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
掃描探針顯微鏡測量速度低橫向分辨率則高
掃描探針顯微鏡和探針輪廓儀，然后圍繞著近十五年來發(fā)展起
來的、在商業(yè)和工業(yè)上得到應(yīng)用的光學(xué)技術(shù)進(jìn)行了詳細(xì)的介紹。這
部分內(nèi)容包括單色光及白光照明干涉顯微鏡，白光和多波長技術(shù)也
常常應(yīng)用于其他測量方法，比如散斑、全息及條紋和結(jié)構(gòu)光投影過
程。最后還針對光學(xué)測距技術(shù)和偏振干涉儀作了簡短的評述。接觸
式輪廓儀
探針輪廓儀和掃描探針顯微鏡，通常都稱為接觸式輪廓儀或者
觸摸式傳感器，因?yàn)樗鼈兌际鞘褂靡粋�探針來對測量對象的表面進(jìn)
行掃描�，F(xiàn)在，施加在探針尖上的力已經(jīng)非常小了，以至于很難再
將其稱為接觸式儀器。這類儀器的測量速度很低，橫向分辨率則相
當(dāng)高，不過一般來說低于光學(xué)顯微鏡。作為最早得到發(fā)展的探針輪
廓儀，其制造成本不高，也便于使用，因此在許多機(jī)械和光學(xué)車間
中作為標(biāo)準(zhǔn)配備。掃描探針顯微鏡的發(fā)展要相對晚一些，但是由于
其具有亞納米量級的縱向和橫向分辨率，現(xiàn)在該設(shè)備在實(shí)驗(yàn)室和半
導(dǎo)體及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)工業(yè)中已經(jīng)被普遍使用。測量大口徑元件
的剖面可以使用較大探針坐標(biāo)測量儀，該儀器能夠在掃描模式下工
作。
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