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本文標題："高速計算機和固體器件為代表的新技術表面輪廓儀"
新聞來源：未知 發布時間：2016-7-3 16:49:13 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
高速計算機和固體器件為代表的新技術表面輪廓儀
表面輪廓儀介紹
以高速計算機和固體器件為代表的新技術得以發展，同時針對
越來越小的工程表面進行精確檢測的需求也日漸增加，在這些因素
的推動下，表面測量技術無論在技術成熟方面還是應用范圍方面都
得到了極大的發展。先進的照明光源，例如激光，以及通常使用的
固體探測器和光電器件也對這一技術的發展起到了推動作用，使之
不但能夠用于描述表面形貌，而且能夠用來確定諸如位移、散射等
的一些其他特性。一些創新性的技巧和技術使得測量對象的范圍得
到了很大的擴展，因此針對那些高陡度、大臺階及深窄溝道的難度
很大的面形也可以進行測量了。這些表面輪廓技術很多是由距離測
量或焦距測定技術發展而來的，同時它們也往往需要進行掃描來獲
得面形輪廓。本章將介紹探針輪廓儀、掃描探針顯微鏡、共焦顯微
鏡及干涉光學輪廓儀。這些儀器都被廣泛應用于表面面形的測定，
而且既適用于極小的典型工程表面，也適用于非球面和玻璃平板這
樣的光滑大面形檢測。
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