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本文標題："用于測量金屬的和其它材料的表面加工痕跡的顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2015-7-26 16:56:35 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
用于測量金屬的和其它材料的表面加工痕跡的顯微鏡
干涉顯微鏡是用于測量微觀不平度的干涉儀，或用于測量
金屬的和其它材料的表面加工痕跡的干涉儀。如像在檢查表面形
狀那樣，按干涉條紋的彎曲量來測量微觀不平高度。而用于測量
表面微小不平高度的光學儀器應具有高放大倍數和分辨率。因此
干涉顯微鏡實際上是干涉儀(通常是邁克爾遜干涉儀)和顯微鏡
的結合。
裝在生物顯微鏡上的一個套筒，有一個顯微物鏡裝在干涉儀的外
面，放大倍數不大(至200倍)。儀器的第二方案已經采用兩個顯
微物鏡，分別裝在干涉儀的兩支光路中。這樣，可采用大孔徑的
物鏡，并得到較高的放大倍數至500倍)
顯微物鏡孔徑的作用 為了分辨出被檢表面的狹窄痕跡(寬
度小于1微米)，儀器的放大倍數應不低干500倍，而物鏡的孔
徑要盡可能大。但是，大家知道，于L徑增大，干涉圖樣的對比度
就降低，干涉條紋的分度值就增大，也就是干涉顯微鏡的靈敏度減
小。
當儀器的分辨率不起主要作用時(例如在測量階梯高度時)，
公式才是正確的。但是在測量窄刻線的深度(特別在表
面微觀峰谷的夾角很小時)，物鏡孔徑越大，越接近于真實深度，
因為當用小孔徑物鏡工作時，有些劃痕的底部“模不到”。在
這種情況下的測量誤差與物鏡的孔徑、刻線的輪廓角和其他一些
因素的相互關系還研究得不夠。
孔徑的作用有定性的解釋。在大孔徑
物鏡和小孔徑物鏡兩種情況下，同樣一條刻線得出不同的干涉條
紋。在這兩種情況下，干涉條紋都復現刻線的輪廓，但是在第一
種情況下，刻線壁分離得很深，可是在第二種情況，刻線壁幾乎
與其片基聯成一片。可是條紋的斷裂深度在兩種情況大致相等。
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