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電子金相試驗中的定量測量;的定量金相方法可
應用于SEM 的復型觀察和對拋光和浸蝕試樣的SEM 觀察,但對
于TEM 中薄膜試樣觀察時,只有在薄膜厚度遠少于組織要素時
才能應用,因為當大于或等于組織特征時,
則在薄膜厚度內的粒子和薄膜上下表面截割粒子都可成像,
這樣會比反射光顯微鏡得到更多的信息,薄膜的厚度又是不均
勻的,所以就很難進行測量數據的計算與分析。
當所研究的相的相對量很少量,粒子重疊就不是主要問題,
可以在已知薄膜厚度的條件下用體視學方法進行定量測量,萃
取復型可用于求出第二相粒子的大小、分布、平均顆粒大小和
標準偏差,但由于不可能萃取到100%的第二相粒子,所以不能
精確測定體積分率,直徑為10-1000nm 的粒子可以用萃取復型
測量,而極小的粒子用薄膜試樣測量較好。
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