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本文標題："使用高精度的測量光學顯微鏡檢測樣品質量"
新聞來源：未知 發布時間：2014-11-12 17:41:54 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
使用高精度的測量光學顯微鏡檢測樣品質量
傳感器的檢測精度
掃描基準的運動精度
在現有的精密檢測技術條件下，要求現高精度的檢測，則需
亞微米級精度的變位計和能測量出0.1s數據精度的角度計，但
是，以高精度的掃描基準來進行測量是非常困難的，因為掃描
形狀測量的精度是由掃描引導的運動精度決定。
工作機械直線運動機構的高精度化是精密檢測技術的保證，
運動機構的運動誤差是評價精度必要的手段。高精度的直定規
等是測量運動基準的最后一般辦法，但在測量移動范圍很大的
計測法等，開發出了以激光光線為基準的測量法。
在掃描檢測方法中，在獲取工件形狀信息的同時，引導機構的
運動誤差也同時被檢測并包含檢測結果中，則須通過誤差分離
方法，將工件的形狀信息和引導誤差進行分離。機床的運動精
度一般需要進行在線有測量才比較可靠。在掃描測量方法中，
在將引導機構的運動誤差分離之后，才可以使用高精度的測量
儀器對工件誤差進行評價。同樣，測量基準對納米計測來說也
是相當重要的。
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