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本文標題："顯微鏡的分辨率取決于射到試樣表面上電子束的直徑大小"
新聞來源：未知 發布時間：2014-9-29 16:32:54 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
顯微鏡的分辨率取決于射到試樣表面上電子束的直徑大小
掃描電子顯微鏡的分辨率取決于射到試樣表面上電子束的直徑大小。最小的分辨距離
大體上等于射到試樣表面上的電子束的直徑，因此人們希望盡可能地減小這個直徑。電子
槍起著撲電透鏡的作用，它可形成一個直徑約為60微米的燈絲圖象。這個圖象是第一電磁
透鏡的縮小目標，而且所有三個透鏡(某些掃描電子顯微鏡只用兩個透鏡)都起縮小電子束
的作用。第三個透鏡1.3還使電子束聚焦于試樣表面上。經過三個透鏡后，射到試樣表面
上的電子束直徑縮小到10毫微米(100埃)。
該電子束以一條線表示，因而這
些透鏡的聚焦作用沒有表示出來。但是，該圖說明二組掃描線圈怎樣使電子束發生偏轉，
以便在試樣表面上進行掃描。放大倍數等于陰極射線管熒光屏上的圖象寬度除以試樣表面上
電子束的掃描寬度，陰極射線管熒光屏的寬度是固定的，而試樣表面上電子束的掃描寬度是
由掃描線圈中電流的大小所控制的。
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