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光學顯微鏡的放大率不過幾千倍,其分辨率在理論上不能小于0.2
μm ,這是因為受光波波長的局限,即可見光的波長不能小于4000埃。
從性能方面看,光學顯微鏡的景深也很短。為此,它促使人們去尋
找更短波長的照明物質。
從成像原理看,普通的光學顯微鏡和電子顯微鏡的成像過程是兩個
相繼發生的衍射過程。當光或電子束打到被觀察到的物體上時,首先產
生一幅衍射圖。
它相當于對物體作一個傅里葉變換。然后光或電子束繼續作用于那
幅衍射圖并產生出一幅“衍射圖”的衍射圖,即對物體的傅里葉圖變換
再作一次傅里葉變換,回復到原來的物體的像,但圖形得到了放大。
利用電子束對樣品放大成像的電子顯微鏡,簡稱電鏡。電鏡的放大
倍率可達百萬,可分辨樣品的最小細節為幾埃(埃)。根據波動學說,
運動著的電子可以看作是一種電子波。電子運動的速度越高,電子波的
波長越短。
例如受200kV 高壓加速的電子,其波長僅為0.025 埃。這表明電子
是一種理想的新光源。此外,20世紀20-30 年代,證實了軸對稱分布的
電磁場具有能使電子束偏轉、聚焦的作用,從而找到了相當于光學顯微
鏡中的透鏡一電子透鏡。這就是具有高分辨率的電子顯微鏡產生的基礎。
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