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本文標題："偏振光檢測儀器有哪些優點-測量精度高顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2014-3-29 21:19:28 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
偏振光檢測儀器有哪些優點-測量精度高顯微鏡
橢圓偏振法是一種用于研究兩介質間界面、表面或薄膜中光學性
質變化的技術。橢圓偏振法的原理是用偏振光束在分界面上的反射和
透射出現的偏振變換。
這種方法具有檢測過程非破壞性以及測量精度高等優點。橢圓偏
振法的應用涉及到物理、化學、材料學、生物學、光學、電子學等非
常廣泛的領域。在半導體材料的測試技術中，橢圓偏振法可以用來測
量薄膜厚度、折射率等參數。
眾所周知，一束單色光經過樣片表面反射后，其光振動的振幅和
位相都會發生相應的變化，變化的程度與樣片薄膜的厚度、折射率及
樣片襯底的折射率等因素有關。
因此，可能根據這一特性來測量薄膜的厚度以及折射率等參數。
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