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本文標題："微型化、集成化、智能化并與新技術便攜顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2016-5-12 1:27:30 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
微型化、集成化、智能化并與新技術便攜顯微鏡
傳感器指能感受規定的被測量并按照一定規律轉換成便于測
量的輸出信號的器件或裝置，一般由敏感元件和轉換元件組成。微
傳感器(Micro—sensor)是微機械的重頭產品，在已開發的微機械
產品中，微傳感器占到90％。微傳感器的體積小、功耗低、響應快，
便于和信號處理部分集成以構成微傳感器測試系統，這些特性使
其可以應用于汽車、航空航天、電機、醫學、家用電器、生物化學、環
境監測等廣闊領域。
微傳感器的出現和廣泛應用是微電子制造技術向半導體技術
擴展的結果。這些技術包括光刻、薄膜鍍層、化學和離子加工等。它
們使得傳感器結構得以微型化，從而能在同一表面上制作大量的
傳感器，然后批量生產。
第一個微傳感器是在硅上鍍膜再經化學加工并與電子線路集
成的壓力微傳感器。目前這項技術已有五六十年的發展歷史，許多
集成線路制造商對其進行了工業開發，并把相關產品用到汽車上。
另外一些工業化生產的微傳感器產品，包括在硅或石英上制作的
霍爾效應(Hall Effect)探頭、加速度計、力傳感器以及化學傳感器
等等。
傳感器的發展趨勢是微型化、集成化、智能化并與新技術、新
材料的發展不斷融合。基于硅的微傳感器與電子線路集成是一個
重要的發展目標，這不僅可以使整體尺寸更小，而且能夠大幅度降
低生產成本。目前在一些專業領域，光學與機械的功能結構逐漸趨
于集成，例如色譜分析儀等正在把光學微結構與檢測器件集于一
體；生物醫學上也需要生物微傳感器與機械執行器(如微閥、微泵
等)的集成來檢測輸入量與血流量。
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