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網版印刷電池制程細微影像檢測儀器
硅晶太陽能電池制程中利用網版印刷制作金屬電極的方式來生產太陽
電池,為了提高電池本身的效率,由原本的一次電極涂布改良為兩次電極
涂布,原來較寬的電極變較窄而且高度較高。傳統一次涂布精度要求不
高,而兩次涂布產生對位誤差使得兩層電極發生錯位問題將是轉換效率提
升的關鍵因素,
針對兩次涂布電極之檢測及補正流程,發展多項技術,包括:影像處理技術、
誤差比對技術、涂布機臺控制界面、檢測系統整合等,并導入檢測資料庫,
發展影像特征對位算法,將兩次涂布
電極對位誤差降至 50 μm 內。
規劃五種不同實驗以驗證各種精度,
包括:軟體運算精度分析、電極涂布機臺涂布重現性分析、軟體座標與涂
布機臺座標轉換誤差分析、單次電極涂布補正分析和兩次電極涂布補正分
析,實驗結果驗證本研究所發展影像檢測與精度補正方法的可行性
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