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本文標題:"表面粗糙度精密測量儀器廠商-工具型顯微鏡"

新聞來源:未知 發布時間:2013-6-6 4:31:55 本站主頁地址:http://www.pzfczx.com

表面粗糙度精密測量儀器廠商-工具型顯微鏡

分析一個因表面粗糙度所導致之光散射效應是很復雜的,
顯然BSDF 函數是非常普遍使用有方法可用來描述介質介面之光散射,
可在一定的入射光方向角度與光功率下,在特定的散射方向量測單位立體角內所接收
得光功率,此由介質介面所輻射出之光散射的角度分布狀況,可由雙向散射分布函數
(Bi-Directional Scatter Distribution Function,BSDF)來描述,
其原意為BSDF = differential radiance / differential irradiance其表示單位立體角(Ωs)
單位受照明面積(Adetector)下進入檢光感測器的散射光功率(Pscatter),
與單位受照明面積下之入射光功率的比值

即要改善現今表面粗度量測的缺點,以低成本的設備費用來達到更精密的量測精度,使得許多高精密光學等級的表面-鏡片模仁、背光元件、導光元件、IC 晶片或碟片等,可經由本實驗系統之非接觸式的量測系統,并以即時的線上量測的方式,來判斷表面品質的優劣,在觀察其光散射的分布情形

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