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本文標題："精密加工工件表面粗糙度測量儀器-測量顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2013-6-5 22:43:25 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
由于工業的快速發展，使得各種精密加工產業急遽增加，而加工物件的表面平整度與缺陷，也日益要求精細。而非接觸式量測以光學法量測表面粗糙度，并不會對待測物造成破壞，
也提供不錯的解析度，即時性的量測優點，所以已經成為主流
趨勢。以下是一些光學法量測表面粗糙度的文獻回顧。在1972
年Robert A. Sprague[1]提出以空間相干光的概念，以測得表面
粗糙度�？臻g相干光(具有寬的光譜的頻寬)情況下，在一個透鏡
的成像平面附近形成一個斑點圖案。當粗糙和光照度的相干長
度大小可比較時，將會發現斑點的對比與表面粗糙有關。
1986 年D. Pantzer 等人[2]提出用兩道同心光束
(concentric beams)掃描待測物，利用兩道光的相位差，
取得相對應的高度
差。當理論的高度解析度到0.4nm，橫向解析度可到3μm。
1998 年C. Chou 等人[3] 提出一個改良型的共光程外差輪廓
儀，比Zeeman雷射更具有對稱性及理想化的共光程結果，
也可降低Zeeman 雷射的相位誤差，其相位穩定度為±2%/h。
實驗表明系統垂直方向解析度可達0.2nm，
而在27mm的掃描范圍內，表面輪廓量測的重覆性可達到
0.5nm。本文提出以表面電漿共振(SPR)結合共光程外差干涉術
(Common-path Interferometry)來測量平板玻璃內部之平整度與
缺陷。在本架構中，具有簡化架構、即時性量測等優點
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