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本文標(biāo)題："量測工具顯微鏡的微粒直徑范圍為100 nm-1mm"
新聞來源：未知 發(fā)布時間：2013-3-21 2:52:40 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
量測工具顯微鏡的微粒直徑范圍為100 nm-1mm
在晶圓表面上的奈米級微粒的粒徑和分布是半導(dǎo)體制程中相當(dāng)重要的檢測參數(shù)。
針對此需求，工研院量測中心發(fā)展出一套奈米級的多方位偏振散射光量測儀，
使用一個可四個角度旋轉(zhuǎn)的多方向調(diào)整機構(gòu)來量測由晶圓表面上奈米微粒的偏振散射光，
再經(jīng)由此散射光的Mueller 矩陣來計算和分辨奈米微粒的粒徑大小，
其可量測的微粒直徑范圍為100 nm-1mm，并可承載4-8吋的晶圓進行量測。
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