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原子力顯微術原理示意圖
AFM的工作原理與STM大致相同,最主要的差異乃在探針與樣品表面間之交互作用,
不再是微小空隙間所產生的穿隧電流,而是探針與樣品表面間
原子的作用力。在AFM裝置上,探針通常是由一個針尖附在一支橫桿
(Cantilever)前端所組成,作用力造成橫桿之微小偏曲,其變形量可用光學
偵測法來感測。如此,借著掃描系統、偵測橫桿變形量的機構及回饋電
路,便能借著垂直微調探針與樣品表面間的距離,而在掃描的過程中維持
固定的原子力。此種垂直微調距離簡稱高度,而得到了掃描區域的表面形貌或高度影像
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