本文標題："光學顯微鏡、電子掃描顯微鏡、 雷射掃描顯微鏡三者特色"

Q: 光學顯微鏡、電子掃描顯微鏡、 雷射掃描顯微鏡三者特色為何？
A: 對于表面微小形狀產品的觀察，不外乎利用光學顯微量測顯微鏡或是電子顯微鏡，如果利用光學式高倍量測顯微鏡，其優點為彩色影像、可以即時觀察量測，但解析能力上則受制于可見光波長的限制，且3D影像上總是沒有電子掃描顯微鏡影像來得立體及層次分明，針對數μ的3D量測無法得到優異的再現性。

如果利用電子掃描顯微鏡，也有其不便及限制之處，除了黑白影像外，在檢查標本的製作上非常麻煩，除了要做微小薄片處理外，碰到無法導電的材料，還要做鍍膜處理以及抽真空等繁瑣處理，無法做到有效率及大范圍的即時觀察量測。而雷射掃描顯微鏡則利用波長408nm的雷射光掃描被測物表面，并且以0.01μ的段層掃描取樣，再將影像予以重組以得到直逼電子顯微鏡的高解像力及對比，因此可同時兼具光學顯微鏡之即時彩色影像觀察及電子掃描顯微鏡高解析精確量測之特色。