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本文標題："光譜技術測定樣品精度輪廓計量顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2017-12-23 21:30:40 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
光譜技術測定樣品精度輪廓計量顯微鏡
使用光譜技術測定樣品的基本內容如下：首先，采用現有的標
準分析技術測出待測樣品的性質和數據；然后，使用光譜裝置和儀
器采集樣品的光譜數據，并用各種分析方法對光譜數據進行分析；
最后，建立光譜數據的數學模型并將光譜法的結果與標準法的測量
結果進行關聯，即得到以標準方法為參考的定量和定性分析關系的
校正模型，并使用此數學模型對預測集樣品進行預測，以各種評價
參數判斷所建立模型的優劣，如穩定性、泛化能力等。盡管光譜分
析屬于間接檢測和二次檢測技術，但是光譜分析技術在與標準方法
關聯后所建立的關于物質性質的模型與常規檢測方法并無系統偏差
，并且其結果更加穩定，精度更高。
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