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圖像傳感器科學與工程3D成像和多像素測距技術
近年來,在圖像傳感器科學與工程領域,3D成像和多像素測距成為
最重要和最富有創新性的研究領域之一。在距離測量過程中,需要
計算由單色或寬波段光源產生的光線從光源出發并經過目標物體反
射后到達探測器所需要的飛行時間。目前至少有兩種辦法可以測量
飛行時間:直接法和間接法。在直接法(D.TOF)測量方法中,需要
測量與光源同步的起始脈沖到由探測器產生的停止信號之間的時間
差;在間接法(I—TOF)測量方法中,發射出連續的正弦光信號,然
后測量輸出與輸人信號之間的相位差。使用相位差信息就能夠通過
已知的公式計算出時問差。
單光子雪崩光電二極管(sPAD)或蓋革模式雪崩光電二極管(GAP
D)是能夠以幾十皮秒量級的非常高到達時間測量分辨率能力捕捉單
個光子的探測器。可通過專用硅T藝或標準CMOS技術制備這些探測
器。通常情況下大多數SPAD工作在室溫條件,不過也可以通過制冷
方式獲得更好的噪聲性能。盡管目前已經出現了用III—V材料制備
的固態SPAD,而且相關文獻也不勝枚舉,但是在本章僅關注硅基器
件。
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