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本文標題："激光加工測量聚焦頭到工件的距離分析顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2016-5-21 0:16:16 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
光束特性傳感器
在激光加工過程中，光束的質量在實現高質量的加工中扮
演了重要的角色。為此，正在開發用于監測光束功率分布的傳感器
。一個普通的方法是用一個帶有針孔的桿掃描光束。通過應用一個
反射鏡，輻射被反射到傳感器。應用此系統，通過光束的強度分布
可被測量到。另一個系統，需要在光束路徑上安裝一個細線柵格，
從單根線的溫度變化，可重新構造一個完全的光束功率分布。聚焦
位置和氣體壓力
在工件和聚焦頭部的偏移經常引起過程誤差。尤其是在切
削應用中，在原材料內部保持聚焦很重要。為了解決這個問題，電
容傳感器可以測量聚焦頭到工件的距離，并且通過應用一個控制線
圈，當表面出現不規則時，進行一個補償運動。另外，應用更現代
的系統來控制過程氣體壓力，以便不再有波動影響最終的切削。這
些傳感器普遍應用于二維坐標，但還沒有用于三維坐標的。
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