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本文標題："全反射和穿透力的高能X射線用于測量涂層厚度"
新聞來源：未知 發布時間：2016-5-19 19:27:09 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
全反射和穿透力的高能X射線用于測量涂層厚度
切線入射X射線反射計
1923年康普頓首次提出x射線從固體樣品平的光滑表面全反射，這是X射線
鏡面反射試驗技術誕生的標志。因為入射角非常小，幾乎和表面平行，利用X射
線完全反射進行的測量也稱為切線入射試驗。如果表面不是理想的平滑，有點兒粗
糙，x射線會向各個方向漫反射。這個試驗技術稱為X射線漫反射(X射線非平面
反射)。在1963年，YONEDA首先提出之后，此技術立即開始發展。YONEDA報
道了X射線漫反射的強度調制。被稱為YONEDA翅膀式不規則反射。
目前，基于全反射的X射線反射計，成為表面和薄膜分界面分析的一個強
有力的工具，并將進一步發展。這主要是由于試驗技術和手段的重要發展，尤其
是同步加速器輻射線的出現和探測技術的發展。在理論模型和試驗數據分析技術
上的進展也是很重要的。
具有全反射和穿透力的高能X射線用于測量涂層厚度。通常X射線的折射
率指數小于1，如果入射角比較小，x射線穿透只能達到一個小的角度，即臨界
角。如果入射角進一步減小，在分界面發生表面全反射，稱為光束鏡面反射。在
涂層一襯底系統中，一部分輻射被反射，而另一部分穿透薄膜。在空氣一涂層和涂
層一襯底分界面處有兩個全反射角。兩部分干涉光線形成干涉。表面粗糙度和光
學涂層及感光襯底層材料的密度，影響干涉成像的結果。如果感光襯底層材料的
折射率小于涂層材料的折射率，可獲得最清晰和高密度的圖像。
x射線反射技術的主要限制是，波矢傳遞范圍是有限的，反射振幅相位會有
損失。不過在研究雙層樣品厚度和粗糙度時，其精確度大概是0．2nm。
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