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本文標題："磨粒較小拋光劃痕深度計量多功能顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2015-8-4 18:37:07 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
磨粒較小拋光劃痕深度計量多功能顯微鏡
Samuels關于磨削的研究展示出一幅復雜的變形圖樣。他的研究表
明有一外部碎裂區，其中晶體結構被破碎成許多互相粘連的小結晶
狀亞晶粒。該區外觀和嚴重塑性變形區一致，類似重度冷軋時產生
的擠壓組織。在該層以下，金屬變形較少且不均勻，集中在表面劃
痕下的條帶或射線形區，。無論劃痕或損傷深度均隨磨料粒度的減
小而變淺。因此，磨光和拋光工序之間，必須將以前每道工序造成
的變形仔細去掉。看來，研磨和拋光速率通常隨磨料粒度減小而放
慢這——事實，使問題復雜化了。因此，金剛石磨料在去除磨削損
傷的最后殘余方面所顯示的高效率，!其重要性可知。
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Samuels又證實磨削和拋光均產生相同的基本現象：即產生劃
傷和溝槽、金屬切削、以及塑性變形層。其差別僅在于此三類
特性的程度。Samuels的結論是磨削和拋光的機理是一樣的。前述
有關磨削性質的討論同樣適用于拋光。加在一個特定尺寸的拋光磨
料上的負載決定劃痕的深度和寬度，而迎角則是決定切削還是開槽
的原因。一般加在拋光磨料上的負載低于磨削磨料，而且磨粒較小
；所以，拋光劃痕淺而窄且損傷深度不大。
拋光和磨削的主要差異在于支持磨粒的方式。Samuels曾提出
磨粒翻滾著同試樣接觸，產生開溝作用。運動一陣之后，顆粒
即嵌入織物纖維中，此時是切割還是摩擦表面則決定于迎角大小。
織物纖維的彈性可保持磨粒接觸試樣。因此，拋光磨料并不是嚴格
地固定就位，且其接觸壓力比磨削時低得多。Richardson和Brose
C353從金剛石粉拋光的動態觀察證實了這一理論。Richardson等人
觀察用過的織物發現，織物(尼龍)纖維在金剛石拋光時普遍的擦傷
磨損，證明纖維同磨料之間有相當大的相對運動
這種拋光機理的機械作用觀點已由Aghan和Samuels證明，適用
于所有粒度的拋光磨料。但是，某些在乳化液中加人懸浮液或
浸蝕劑的場合，將對拋光過程起重要作用而產生更高的切削速率。
Samuels的結論是，磨料起擦去表面生成的保護膜的作用，并把這
種作用當作是“擦拭化學拋光”的機理。拋光所產生的塑性變形表
層與磨削過程中產生的相類似，但深度要淺得多。在磨削時，
變形是不均勻的，并且集中于劃痕下面，它是造成浸蝕后拋光劃痕
重現和表觀上擴大的原因。
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