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本文標題："金屬化圖形表面的粒狀物粗糙度測量顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2015-6-23 1:09:26 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
金屬化圖形表面的粒狀物粗糙度測量顯微鏡
由于電子轟擊效應或者與等離子體的相互作用，玻璃
也能去氣。
當制造薄膜型儀器或金屬化圖形時，將金屬蒸發或濺
射到玻璃上面，上述現象是很重要的。
表面的粒狀物質由于表面普遍存在粒子污染，所以凈
化問題急需解決。其原因是對電子器件所需潔凈度，以及
怎樣徹底清除粒子的技術了解甚少，只認為這是一般的問
題。
雖然有了高效過濾器，并在潔凈室的設計中得到了應
用，但是，要使表面完全沒有灰塵或其它粒狀物質，實際
上這是不可能的。即使只在層流罩內放幾天，在顯微鏡黑
色管筒上也能看到粒狀物質。同樣，將硅片在標準罩內存
放一星期，由于選擇性的粒子污染，硅表面出現了鈉原子。
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