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透明薄膜的厚度測量
由于顯微鏡做成手提式,所以直接對于那樣安裝在加工機械
上的
工件或者無法放在測量工作臺上的大形部件的粗糙度進行
測量。測量的取值是靠目鏡測微計進行
原理、結構
光切斷面法的原理從斜的方向將帶平行光束照射在凹凸輪廓
的樣品的表面上。
照射光和照射不著光的界線就是樣品表面的形狀,通過測量
高度H就可求得粗糙度(圖中的槽濃度)。
光束對于樣品表面的入射角度和觀察角度均為45度。實際結
構光路如圖2-17-8b所示,由光源(燈泡)發出的光照射在狹縫
刻度盤上,在刻度盤上裝有狹縫等,以提供帶狀光束,
各狹縫被物鏡所縮小后,呈現在樣品面上,由狹縫照射的樣品
面的像是被另一個物鏡所放大之后,同時射入之后,同時射
目視部和照相系統。
照明用物鏡和觀察用物鏡均裝在一個框式部件內,根據緊因
桿的操作機能,可隨時替換。各部件是考慮到工作時若萬一碰
上樣品亦不使光學件受到損傷的結構,它備有4種倍數,
即:4X、14X、30X和60X。根據試件粗糙度值的大小,選擇合適的
使用倍數。
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