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本文標題："光學顯微鏡應用于分析金屬熱加工顯微結構"
新聞來源：未知 發布時間：2014-12-8 1:50:44 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
光學顯微鏡應用于分析金屬熱加工顯微結構
在曝光工藝中，另一個變量是光刻膠的靈敏度。而這個參數又
是前烘溫度、表面反射情況、涂膠后版子的存放時間、光刻膠的批
號、版子的溫度和工藝區的溫度等的函數。這些因素都是可控的
另外，光刻膠曝光不足已成為提高生產率的一個突出的問題，
曝光不足將導致光刻膠顯影不均勻和顯影不干凈，從而使刻蝕
不均勻和刻蝕不完全。有時會留下叫層用光學顯微鏡無法觀察到的薄膜。
為了迅速檢查曝光不足情況，可對部分光刻膠進行過曝光（2倍于正常曝光量)，
通過對顯影速率的變化來檢查曝光不足情況。如果曝光充分和適當，
在顯影液中立刻會看見“紅云”出現。一般為10s左右。對各種不同的顯影方法，
“紅云，出現的時間略有不同。目前，檢測曝光量的設備發展很快，這
些設備能更快更簡單地反映出曝光能量的變化情況。.
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