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設計精密
測量顯微鏡時,從現實看來受到各種制約的地方較多。
為此,如果進行多少有點不合理的結構設計,最必要的測量精度
也是不會穩定的。因此,為了保持穩定的測量精度,就需要設計
出能校正產生誤差的機構和裝置的測量顯微鏡,
試把受實際工作所制約的條件加以整理后,主要有以下幾點。
1/主要零件的加工誤差
通常精密測量顯微鏡在那個時代中,需要比加工精度還要高的測
定植度。因此,根據情況,使用加工精度不良的主要零件,會限
制高精度測量顯微鏡的設計與制造的條件。
2/在運動部分產生的變形
在機構設計階段中,因為組成機構的各個元件是剛體的,所
以不會變形。但是,在結構設計階段,所有的剛體在設計中都不
能予以考慮。特別是載荷集中部分,在運動部分有沉重的物體移
動時,當然要考慮彈性變形,并要采取相應的措施。
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