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本文標題:"高倍率精細物鏡放大倍數較高、焦距較短"

新聞來源:未知 發布時間:2014-8-10 0:35:53 本站主頁地址:http://www.pzfczx.com

高倍率精細物鏡放大倍數較高、焦距較短


    當象的質量受到損害時,偶爾的原因可能是物鏡受損傷.有
些儀器備有用彈簧緩沖的物鏡以減少物鏡損傷的可能性.但是,
防止這種不幸事故的最好辦法是細心地進行聚焦,尤其對放大倍
數較高、焦距較短(而且比較昂貴)的物鏡更要謹慎.定期地用低
倍放大鏡檢查物鏡的外露表面是否有污染和損傷等情況是個良好
的習慣,同一臺顯微鏡的目鏡可以令人十分滿意地用于此目的.


    表面上高度變化的襯度能夠通過暗場而獲得顯著的改善. 
表示了集成電路板的表面在普通亮場和暗場下觀察時的情
況.相襯對于表面變化引起的襯度也很有用,好比只用衍射光觀
察物體的顯微鏡一樣,這可以通過下述辦法實現:在進來的光束中,
放置環形光闌并攔阻經反射后通過物鏡而返回的直接光環的通
道(與相襯系統相類似,只不過用不透明材料代替了移相器).衍射
光束只輕微地衰減,而它所產生的襯度則比它和直接光束混合時
所產生的襯度要大得多.獲得最大的高度變化襯度的最好方法也
許就是采用多光束干涉儀或偏振光干涉儀(如Nomarski干涉儀).
不論哪一種情況,達到幾分之一波長的靈敏度都是完全可能的.偏
振光儀器把高度變化顯現為顏色的差異并直接顯示表面,而多光
束儀器當條紋穿過臺階時便發生移動。鑒于這些區別,偏振光干
涉儀往往給出更易于解釋的象而多光束儀器則可更好地用于定量
測定臺階高度.

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