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掃描電子顯微鏡(SEM) (亦即聚焦的電子束掃過樣品表面。而不是透射通過
樣品)的原理于1935年首先由克勞爾提出。在隨后的3年內.V.安德烈采納了
用基于時間一位置的電流產生和檢側來建立圖像的概念,并建成了第一臺掃
描電子顯微鏡。首臺儀器利用了兩個磁透鏡來提供樣品表面上的小電子斑點
。
然而.第一臺掃描電子顯微鏡是利用樣品吸收的電流來產生圖像。直到7年后
的1942年,RCA公司的施弗里金(Zworykin )席勒爾(Hiller)和斯里德(Sny-d
er)才使用了搜集表面發射出的電子的檢側器。這個被搜集的電子信號用來
建立與時間一位置相關的信號。這一技術是所有現代掃描電子顯微鏡工作的
基礎
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