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本文標題："電子顯微鏡適合研究微電子學觀察各種樣品表面起伏"
新聞來源：未知 發布時間：2014-4-22 13:04:02 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
電子顯微鏡適合研究微電子學觀察各種樣品表面起伏
干涉反差在千涉反差光學系統( 洛馬斯基系統) 中采用分像器和偏振光，被
觀察物的像分裂為兩半，每半各被相反極化
極化像對應部分間光路長度之差產生一定的橢圓偏振光，并在被觀察樣品放
大像上呈現一定的色彩，此色彩隨這個差別的大小而發生變化。
這種技術對微電子學領域來說在觀察各種樣品表面起伏圖形是極其靈敏的方
法。干涉反差在決定表面是否存在凸起或凹陷，以及用其它光照方法無法觀察出
來的表面起伏圖形的細節都很有用。
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