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微觀檢測是宏觀腐蝕的進一步檢查。微觀測試方法主要有掃描電鏡測試
、金相分析、光譜分析、中子活化分析、電子探針顯微分析、X射線衍射分析、
紅外吸收譜分析、穆斯堡爾譜分析、熱分析、同位素質譜分析等
單色、單向、均勻而高速的微電子束與薄試樣相互作用時.
電子束中部分電子激發出與試樣相關的二次電子、背散射電子、
特征X射線和俄歇電子等信息,經多級放大成像,它具有原子尺度的分辨能力,
同時提供物理分析和化學分析。
散射電子束和透射電子束會形成襯度完全相反的像(暗場像和明場像),
特別是選區電子衍射技術的應用,使得分析微區形貌與微區晶體結構結合起來
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