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本文標題："金屬材料實驗測試刮痕檢測用專業光學顯微鏡"
新聞來源：未知 發布時間：2013-10-4 14:10:12 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
金屬材料實驗測試刮痕檢測用專業光學顯微鏡
TiO2 鍍膜的附著性
分別為不同沉積時間及不同氧氣分壓所得
TiO2 鍍膜試樣之刮痕試驗圖譜及光學顯微鏡下刮痕軌跡。
聲波訊號劇烈發生的刮痕距離與光學顯微照片中基材開始裸露的刮痕位置是一致的，
因此判定于圖中的鍍膜破損起始點(Breaking point)是十分
可靠的結果。從該點對應到縱座標的 Normal force 即
為臨界荷重值，可茲做為鍍層附著力之指標。
這可用鍍層的結晶化程度來說明；當沉積時間達 30
min 以上時，鍍層發展成較完整的晶型及較高的鍍層
機械強度來抵抗剪應力，并且基材隨沉積時間增加持
續受熱所造成的鍍層 – 基材準擴散效應 (Psudo-
interdiffusion)也隨之增加，是故鍍膜臨界荷重較高，
最大值 21.2 N。圖五(b)不同氧氣分壓所得 TiO2 鍍膜試
片之臨界荷重值大小依序為：Lc 0.50 Pa≒Lc 0.35 Pa＞＞Lc
0.25 Pa≒Lc 0.15 Pa。很明顯的，仍然是鍍膜結晶性主導。
氧氣分壓增加到 0.50 Pa 時，鍍膜發展成完整晶型，鍍
膜臨界荷重亦隨之增加。是故透過本研究得知，利用
本套鍍膜系統在氧氣分壓 0.50 Pa 時，只需 30 min 沉
積時間即可成功制備出附著性良好的銳鈦礦 TiO2 鍍膜
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