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本文標題："微影制程檢測工業顯微鏡-減少圖形偏移"
新聞來源：未知 發布時間：2013-6-12 15:20:58 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
微影制程檢測工業顯微鏡-減少圖形偏移
微影制程中，曝光機在執行基板粗對位(coarse alignment)時的誤差精度準確與否，
將影響生產的產量及順暢性。粗對位誤差越小越好，不佳的誤差將導致對位時間過久，增加生產的時間成本。粗對位誤差過大時，甚至將無法對位，
需要以人工方式確認處理，增加品質風險。若處理人員判斷錯誤，
更有可能造成曝錯，造成產品圖形偏移
機臺內機構的精度誤差，會因為長時間而累積。目前業界尚無可以針對曝光機粗對
位誤差進行長期監控的系統，亦無法立即發現異常來調整補正。當發現問題時，需要
針對各個單元一一澄清，若無法即時修正并改善，長期下來將損失很多產能。
首先收集機臺生產資料，分析對位誤差
與對位時間的關系；并收集歷史露光中心補正調整與對位誤差的相關資料，以倒傳遞
類神經網路演算模式，訓練并建立出調整補正量與粗對位誤差間的關系，改善現行靠人力判斷的方式，
減少補值后的誤差，增加調整后的對位精度，維持一個良好的狀
況，增加機臺生產的順暢性。
在制程監控方面，套入多變量統計分析的概念，模擬出五項對位誤差數據之間的影響關系，
訓練出較佳的管制規格，以此規格監控實際生產時的粗對位誤差，提早發現異常點并即時處理。
粗對位誤差產生的原因，建立出精確可靠的誤差估測方式，以解決目前業者無法監控，
免于大量產品對位時間過長的情況發生
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