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本文標題："元件表面的粗糙度會直接影響微光學元件的特點"
新聞來源：未知 發布時間：2013-4-27 0:12:11 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
微光學元件表面輪廓量測
元件表面的粗糙度會直接影響微光學元件之特性，如果表面粗糙太過嚴重會使其光學效率大大的降低，
因此經由準分子雷射拖拉式加工之后的工件，我們都必須進行表面輪廓的量測。而我們是采
用光學顯微鏡、干涉儀（Zygo）、薄膜測厚儀（α-stepper）及掃描式電子顯微鏡（SEM）分別對
元件表面進行表面外觀形狀、蝕刻深度等的量測，并且利用電腦計算出加工后工件之粗糙度，
目的在于對元件作初步的檢驗與評價制程的品質
平衡是因為它適用于一個以上的階段，其中可能存在的系統。相平衡是現在一個系統的相位特性與時間的關系。
免費能源方面的考慮和圖表類似提供了有關特定系統的，這是非常重要的平衡特性的訊息
但他們沒有說明實現一個新的平衡狀態所需的一段時間。這是經常發生的情況，尤其是在固體系統，
即一種平衡狀態從來沒有完全實現，因為綠平衡的方法是極其緩慢的，這樣的系統被認為是在非平衡態或亞穩態。
亞穩態或微觀結構可能會持續下去，隨著時間的推移經歷只有極其輕微，幾乎難以察覺的變化。
通常情況下，亞穩結構超過均衡的現實意義。例如，一些鋼和鋁合金依靠亞穩態微觀結構的發展實力，
在精心設計的熱處理。
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