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本文標題："掃瞄式探針顯微鏡（SPM ）-材料機械性質量測"
新聞來源：未知 發布時間：2013-3-7 23:57:32 本站主頁地址：http://www.pzfczx.com
掃瞄式顯微鏡（SPM ）參數
掃瞄式探針顯微鏡（SPM ）-材料機械性質量測
荷重范圍 :1nN~ 10mN。
荷重解析度(bit) : 1nN。
荷重雜訊 : 100nN。
壓痕深度范圍 : 1 nm ~ 50μm。
壓痕深度解析度(bit) : 0.0002 nm。
壓痕深度雜訊 : 0.2nm。
荷重速率解析度(bit) : 0.1 ~ 50000μN/sec。
Thermal drift雜訊 : < 0.05 nm/sec
本設備可提供材料機械性質量測,是研究奈米材料之機 械性質重要量測設備之一 ∎
適用樣品:薄膜/薄片/塊材
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