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電子顯微鏡 (electron microscope) 利用電子束照明﹐經電磁或靜電透鏡聚焦﹐
以得到物體高放大倍數顯微像的設備。電子的加速電壓一般為100~200千伏﹐
相應電子波長為0.037~0.025埃﹐約為可見光波長的十萬分之一。
所以電子顯微鏡(以下簡稱電鏡)的分辨本領比光學顯微鏡高得多。
第一臺電鏡制于1931年﹐其結構與普通光學顯微鏡相似﹐
為透射電鏡。60年代末發展了掃 描電鏡﹐
70年代從透射電鏡發展出超高壓電鏡和高分辨電鏡﹐并把透射和掃描電鏡技術結合起來﹐
再加上微區成分分析技術﹐發展成分析電鏡。
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