目前在光學設計面臨一個大問題
以前我在量測非金屬亮面的的樣品表面凹陷處的深度時
可以用傳統的phase-shift interferometry方法
但是針對金屬亮面的表面凹陷深度量測時
因為反射dominate,所以無法計算深度
人家說用白光干涉顯微鏡可以量
但是它只能一次量一個位置
我想要量大面積且有數百個點要量
不知道有沒有什么樣的光學設計可以實現?
或者是有沒有把白光干涉顯微鏡變成2D scan的方式
可以掃大面積的?
回覆:
白光干涉顯微鏡是掃整面的......
現在的型號還有3d顯示圖.最大深度.平均深度和方均根深度值